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簡要描述：Free6D.3-2.150.G2，壓電六軸并聯(lián)位移臺，六自由度，兼容高真空；控制方式：各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制；通過專用軟件，實現(xiàn)對六軸并聯(lián)運動的解算，分配到各驅動單元模塊，實現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調節(jié)。
產品型號：Free6D.3-2.150.G2廠商性質：生產廠家更新時間：2025-12-12訪 問 量：3958產品分類
PRODUCT詳細介紹
壓電·六軸并聯(lián) Free6D.3-2.150.G2
? 多軸姿態(tài)同時調節(jié)、結構穩(wěn)定、剛性高
• 由納米級驅動單元實現(xiàn)的六自由度并聯(lián)結構，有效降低累積誤差；
• 多軸姿態(tài)同時調節(jié)、結構穩(wěn)定、剛性高；
• 平動行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；
• 角擺行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；
• 最小步伐：0.1 μm/5 μrad；
• 可提供真空環(huán)境規(guī)格；
• 控制器：根據用戶輸?的位移指令，實現(xiàn)對位移臺六軸空間姿態(tài)的運動調節(jié)
• 控制方式：各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制；通過專用軟件，實現(xiàn)對六軸并聯(lián)運動的解算，分配到各驅動單元模塊，實現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調節(jié)；
• 控制軟件：提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制
壓電六軸并聯(lián)位移臺，六自由度，兼容高真空——詳細參數：
壓電六軸并聯(lián)位移臺，六自由度，兼容高真空——尺寸圖：
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